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2024-12-05 14:27:18
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光(guang)智科技申(shen)请一种碲镉汞芯(xin)片前道工艺处理方法专利,有效(xiao)提高碲镉汞芯(xin)片良率,表面,基材,pn

金融界(jie)2024年12月5日消(xiao)息,国(guo)家知识产权局信息显(xian)示,安徽光(guang)智科技有限公司(si)申(shen)请一项名为“一种碲镉汞芯(xin)片前道工艺处理方法”的专利,公开号 CN 119069578 A,申(shen)请日期为2024年9月。

专利摘要显(xian)示,本申(shen)请公开了一种碲

镉汞芯(xin)片前道工艺处理方法,涉及

半导体加(jia)工技术领域,包括步骤:

对芯(xin)片基材进行预处理,其中芯(xin)片

基材包括自下而上设置的碲锌镉

衬(chen)底层以及晶(jing)体层;在晶(jing)体层表面

自下而上制备碲化镉层以及硫化

锌层;在晶(jing)体层表面制备pn结;在

芯(xin)片基材的表面制备与pn结一一

对应的通(tong)道,用于一一对应将pn结

暴露出来;将制备的通(tong)道金属化,

并在金属化的通(tong)道表面制备铟(yin)材

料层。该(gai)工艺方法设计能够减少芯(xin)

片基材表面漏电(dian)流,能够避(bi)免电(dian)子

被激发而影响材料表面性能,能够

降(jiang)低芯(xin)片基材表面复合速率,减小或去除其对测试寿(shou)命值的影

响,有效(xiao)提高碲镉汞芯(xin)片良率,以提升芯(xin)片的利用率。

来源:金融界(jie)

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